L'installation de la première nouvelle machine de lithographie EUV d'ASML, Twinscan NXE:3800E, est terminée

Le fabricant de machines de lithographie ASML a annoncé que la première nouvelle machine de lithographie EUV Twinscan NXE:3800E a été installée avec succès. Ce nouveau modèle apportera une efficacité de production plus élevée. Selon les informations du 13 mars, ASML a réalisé cet important progrès.

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En plus de la série Twinscan EXE de machines de lithographie EUV à haute NA en cours de développement, ASML met également à jour et améliore continuellement sa série NXE de machines de lithographie EUV à ouverture numérique traditionnelles. L'objectif futur est de lancer le modèle NXE:4000F en . 2025.

Les deux dernières générations de modèles de la série NXE, 3400C et 3600D, conviennent respectivement à la production de nœuds de 7 à 5 et 5 à 3 nm. Le média allemand ComputerBase prédit donc que le 3800E devrait prendre en charge les processus de pointe de 3 à 2 nm. .

Selon la version 2021 de la feuille de route précédemment partagée par ASML, le système Twinscan NXE:3800E améliorera encore la précision de l'alignement (superposition) et la capacité de production par rapport à la génération précédente 3600D, et pourra atteindre un débit horaire de 195 plaquettes. , ce qui équivaut à une augmentation significative de près de 22% par rapport aux 160 pièces du 3600D, et devrait atteindre l'objectif de 220 pièces (correspondant à une augmentation de 37,5%).

▲ Version 2021 de la feuille de route des machines de lithographie ASML. Source de l'image ASML, la même ci-dessous

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