La résine photosensible est utilisée pour transférer des modèles de conception de circuits sur des plaquettes et constitue un matériau clé dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa fonction est de rendre la partie réceptrice de lumière insoluble dans le révélateur, réalisant ainsi un transfert de motif. Selon la photosensibilité, les photorésists sont divisés en positifs (utilisés pour créer des lignes de circuit) et négatifs (utilisés pour créer des espaces de circuit). Il est largement utilisé dans les circuits intégrés, les dispositifs microélectroniques, les cartes de circuits imprimés, la fabrication d'instruments optiques et d'autres domaines.
Le rôle de la résine photosensible
La photorésiste est un matériau clé utilisé pour fabriquer des circuits intégrés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa fonction est de transférer le modèle de conception du circuit sur la tranche.
Principe de la photoresist
La photoresist est un polymère organique sensible à la lumière ultraviolette ou aux faisceaux d'électrons. Lorsque la lumière frappe la résine photosensible, le polymère devient réticulé et devient insoluble dans le révélateur. La partie non irradiée reste soluble.
Le processus de fabrication de la résine photosensible
Le processus de fabrication de la résine photosensible comprend les étapes suivantes :
Types de photorésist
Selon la sensibilité du photorésist à la lumière, il peut être divisé en photorésist positif et photorésist négatif :
Applications de la résine photosensible
La résine photosensible est largement utilisée dans :Ce qui précède est le contenu détaillé de. pour plus d'informations, suivez d'autres articles connexes sur le site Web de PHP en chinois!
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