ファーウェイが新たな特許を取得し、ウェーハ処理技術を新たな高みへ押し上げる

国家知識産権局が公開したリストによると、ファーウェイは12月12日に新技術特許の取得に成功した。この特許により、ウェーハ処理のアライメント効率と精度が大幅に向上します。

この特許は、ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法に関する重要な特許です。公開番号はCN117219552A、出願日は2022年6月です。以下は、この特許の要約です。

この特許は、ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法に関するものです。ウェーハ処理装置には次の主要なコンポーネントが含まれています。

ウェーハ ステージは回転機能を持ち、軸に沿って回転できます。

ロボット アームはマニピュレータで構成されており、その主な役割は次のとおりです。ウエハは移動され、ウエハステージ

3上に正確に配置されます。 コントローラおよび校正アセンブリ。校正アセンブリは、ウェハステージに対して所定の位置に固定された格子プレートを含む。さらに、光源が含まれており、これも格子プレートに対して固定されている。また、ロボット アームに固定され、光源から発せられた光を受け取り、その光を格子プレートに透過させる機能を備えた撮像素子もあります。

#コントローラの動作原理は、撮像素子による受光の検出と機械アームの制御に基づいています。またはロボットアーム 調整装置を使用してウェーハの正確な位置を調整します

ウェーハステージがウェーハを運ぶとき、グレーティングプレートとウエハステージの上面の両側には撮像素子が配置されており、この上面でウエハを支持・固定する。 書き換え後： ウエハを搭載したウエハステージ上には、ステージ上面の両側に格子板と撮像素子が配置されています。ステージの上面はウェハの支持と固定に使用されます。

この特許によって提供される装置と方法は、ウェハ処理のアライメント効率とアライメント精度を大幅に向上させ、半導体製造に大きな影響を与えるでしょう。その他の分野への影響も大きい。

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