SKハイニックスの革新的な半導体CMP研磨パッド技術により持続可能な使用が可能

本ウェブサイトの 12 月 27 日のニュースによると、韓国メディア ETNews によると、SK Hynix は最近、コスト削減だけでなく ESG (環境) も強化できる 再利用可能な CMP 研磨パッド技術 を開発したとのことです。 、社会、ガバナンス）マネジメント。

SK ハイニックスは、まず低リスクプロセスに再利用可能な CMP 研磨パッドを導入し、徐々にその適用範囲を拡大すると述べました。

このサイトの注記: CMP テクノロジーは研磨を可能にするプロセスです化学と機械の組み合わせにより、材料の表面が必要な平坦度に達します。研磨液中の化学成分が材料表面と化学反応して研磨しやすい軟化層を形成し、研磨液中の研磨パッドと砥粒により物理的・機械的に材料表面を研磨して軟化層を除去します。

#出典: Dinglong Co., Ltd.

CMP プロセスにおける研磨パッドの主な機能は次のとおりです。

##研磨液を加工領域全体に均一に分配し、新しい補充研磨液を循環させるには、次の操作を実行する必要があります。
研磨プロセスにより透明になる研磨片や切りくずなど、ワークピース表面に生じる残留物。
ワークピースを移送する際に必要な機械的負荷を除去する必要がある。材料;
研磨プロセスに必要な機械的および化学的環境を維持することが非常に重要です。研磨パッドの機械的特性に加えて、表面の構造的特性も研磨効率と平坦性に影響を与えます。たとえば、微細孔の形状、気孔率、溝の形状は、研磨液の流れと分布に影響します。
SK Hynix は、CMP 研磨パッド ダイヤル テクスチャ再構築手法を使用して、研磨パッドを確実に研磨します。再利用可能

韓国のCMP研磨パッドの約70%は外国製品を使用しており、海外への依存度が高い。しかし、この技術を突破することで、韓国半導体産業のさらなる自主的発展を促進することができます。

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