imec berjaya menggunakan mesin litografi ASML High NA EUV untuk mencorak logik dan struktur DRAM buat kali pertama

Menurut berita dari laman web ini pada 8 Ogos, imec pusat penyelidikan mikroelektronik Belgium mengumumkan semalam (waktu tempatan) bahawa buat pertama kalinya, makmal litografi High NA EUV dengan kerjasama ASML berjaya menggunakan mesin litografi High NA EUV untuk mendedahkan struktur corak logik dan DRAM . Dari segi corak logik, imec berjaya mencorak mekanisme logik rawak pendedahan tunggal untuk mencapai garis logam padat 9.5nm (nota di tapak ini: sepadan dengan Pitch 19nm), mengurangkan saiz pic hujung ke hujung kepada kurang daripada 20nm:

▲ Kawat logam padat. Sumber gambar imec, sama di bawah Bukan itu sahaja, imec telah merealisasikan rawak melalui lubang dengan jarak tengah 30nm, menunjukkan kesetiaan corak yang sangat baik dan ketekalan dimensi kritikal:

▲ Rawak melalui lubang Selain itu, imec telah melepasi litografi NA EUV Tinggi Mesin itu membina ciri dua dimensi dengan padang P22nm, menunjukkan potensi teknologi litografi generasi baharu dalam pendawaian dua dimensi:

▲ Ciri dua dimensi Dalam bidang DRAM, imec berjaya mencorak SNLP bersepadu ( Nod Penyimpanan Landing Pad) dan reka bentuk DRAM di sekeliling garis bit, menunjukkan keupayaan High NA EUV untuk mengurangkan bilangan pendedahan:

▲ Reka bentuk DRAM Luc Van den hove, presiden dan CEO imec, berkata:
Hasil ini mengesahkan bahawa teknologi litografi High NA EUV sentiasa meramalkan keupayaan resolusi, yang boleh mencapai lapisan logam dengan pic kurang daripada 20nm dalam satu pendedahan.
Oleh itu, High NA EUV akan memainkan peranan penting dalam penskalaan saiz teknologi logik dan ingatan, yang merupakan salah satu tiang penting dalam mendorong pelan hala tuju ke "Era Ami".
Demonstrasi awal ini diwujudkan berkat penubuhan makmal bersama ASML-imec, yang membolehkan rakan kongsi kami mempercepatkan pengenalan litografi High NA ke dalam pembuatan.

Atas ialah kandungan terperinci imec berjaya menggunakan mesin litografi ASML High NA EUV untuk mencorak logik dan struktur DRAM buat kali pertama. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!