Apakah maksud peranti cmp?

Peralatan cmp ialah peralatan planarisasi mekanikal kimia; cmp ialah singkatan daripada "Chemical Mechanical Polishing". kerja Prosesnya ialah kepala penggilap menekan permukaan wafer untuk digilap terhadap pad penggilap kasar, dan mencapai planarisasi global dengan bantuan kakisan cecair penggilap, geseran zarah, geseran pad penggilap dan gandingan lain.

Persekitaran pengendalian tutorial ini: sistem Windows 10, komputer DELL G3.

Apakah maksud peralatan cmp?

Peralatan CMP, nama penuh peralatan Chemical Mechanical Planarization (CMP), merupakan salah satu peralatan utama untuk rawatan permukaan wafer semikonduktor dan kini sedang teknologi planarisasi permukaan bahan Semikonduktor yang paling biasa.

CMP adalah singkatan kepada Chemical Mechanical Polishing, yang merupakan salah satu teknologi utama untuk pemprosesan permukaan wafer semikonduktor. Teknologi penggilap mekanikal kimia digunakan berkali-kali dalam proses pembuatan wafer silikon kristal tunggal dan pada separuh pertama proses. Berbanding dengan penggilap mekanikal yang biasa digunakan sebelum ini, penggilap mekanikal kimia boleh menjadikan permukaan wafer silikon lebih rata, dan juga mempunyai kelebihan kos pemprosesan yang rendah dan kaedah pemprosesan yang mudah, jadi ia telah menjadi teknologi pelicinan permukaan yang paling biasa untuk bahan semikonduktor.

Memandangkan komponen litar bersepadu pada masa ini secara amnya menggunakan pendawaian tiga dimensi berbilang lapisan, proses bahagian hadapan pembuatan litar bersepadu memerlukan peredaran berbilang lapisan. Semasa proses ini, permukaan wafer perlu direncanakan melalui proses CMP. Pembuatan litar bersepadu ialah senario aplikasi utama peralatan CMP, yang digunakan berulang kali selepas pemendapan filem dan sebelum fotolitografi.

Peralatan CMP ialah satu-satunya cara untuk merancang wafer Proses kerjanya ialah: kepala pengilat menekan permukaan wafer untuk digilap pada pad pengilat kasar, menggunakan kakisan cecair penggilap, geseran zarah dan penggilap. pad Geseran dan gandingan lain mencapai kerataan global. Cakera pengilat memacu pad penggilap berputar, dan sistem pengesanan titik akhir termaju menggosok bahan dan ketebalan yang berbeza untuk mencapai pengukuran ketebalan masa nyata dengan resolusi 3-10nm untuk mengelakkan penggilapan berlebihan. Teknologi yang lebih kritikal terletak pada kepala penggilap yang boleh memberikan tekanan zon global Ia boleh mencapai tekanan satu arah terkawal ultra-tepat pada berbilang kawasan anulus di sekeliling wafer dalam ruang yang terhad, supaya ia boleh bertindak balas kepada ketebalan filem yang diukur oleh penggilap. cakera. Data melaraskan tekanan untuk mengawal bentuk penggilap wafer, supaya permukaan wafer yang digilap mencapai kerataan ultra tinggi, dan kekasaran permukaan kurang daripada 0.5nm, yang bersamaan dengan seratus ribu rambut manusia.

Berbeza dengan peralatan semikonduktor seperti mesin fotolitografi dan mesin etsa, peralatan CMP kurang dipengaruhi oleh Undang-undang Moore dan tidak mempunyai kitaran lelaran teknologi untuk masa yang lama tiada perbezaan ketara antara peranti CMP 28nm dan 14nm, hanya pengoptimuman teknologi modul tertentu. Walau bagaimanapun, apabila proses CMP terus maju daripada 14nm kepada 7nm, 5nm, dan 3nm proses lanjutan, teknologi CMP akan terus berkembang ke arah pembahagian kepala penggilap halus, kawalan proses pintar dan gabungan berbilang tenaga bagi unit pembersihan.

Paten adalah rahmat untuk perintis dan "kutukan" bagi mereka yang datang selepasnya. Selepas 2013, bilangan permohonan paten CMP telah berkembang dengan perlahan, manakala bilangan permohonan paten pembersihan pasca-CMP telah menurun. Jumlah keseluruhan aplikasi paten CMP global kekal stabil, mencerminkan bahawa pada masa ini tiada inovasi teknologi utama dalam teknologi CMP global, dan mereka yang lewat mesti menghadapi halangan paten yang kuat jika mereka ingin mengejar.

Untuk lebih banyak pengetahuan berkaitan, sila lawati ruangan Soalan Lazim!

Atas ialah kandungan terperinci Apakah maksud peranti cmp?. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!