Huawei memperoleh paten baharu, mendorong teknologi pemprosesan wafer ke tahap yang lebih tinggi

Menurut senarai yang diterbitkan oleh Pejabat Harta Intelek Negeri, Huawei berjaya memperoleh paten teknologi baharu pada 12 Disember. Paten ini akan meningkatkan kecekapan penjajaran dan ketepatan pemprosesan wafer dengan ketara

Paten ini merupakan paten penting pada peranti pemprosesan wafer dan kaedah pemprosesan wafer. Nombor awamnya ialah CN117219552A, dan tarikh permohonan ialah Jun 2022. Berikut ialah abstrak paten:

Paten ini berkaitan dengan peranti pemprosesan wafer dan kaedah pemprosesan wafer. Peranti pemprosesan wafer termasuk komponen utama berikut:

Peringkat wafer mempunyai fungsi putaran dan boleh berputar di sepanjang paksi

Lengan robot terdiri daripada manipulator Tanggungjawab utamanya adalah untuk menggerakkan dan meletakkan wafer dengan tepat pembawa

3. Pemasangan pengawal dan penentukuran, pemasangan penentukuran termasuk plat parut yang dipasang pada kedudukan berbanding peringkat wafer. Di samping itu, sumber cahaya disertakan, yang juga ditetapkan relatif kepada plat parut. Terdapat juga elemen pengimejan, yang dipasang pada lengan robot dan mempunyai keupayaan untuk menerima cahaya dari sumber cahaya dan menghantar cahaya melalui plat parut.

Prinsip kerja pengawal adalah berdasarkan elemen pengimejan yang mengesan cahaya yang diterima, dan kemudian melaraskan kedudukan tepat wafer dengan mengawal lengan robot atau peranti pelarasan pada lengan robot

Apabila wafer dibawa pada peringkat wafer, plat parut dan elemen pengimejan terletak pada kedua-dua belah permukaan atas peringkat wafer, dan permukaan atas ini digunakan untuk menyokong dan membetulkan wafer. Selepas menulis semula: Pada pentas wafer yang membawa wafer, plat parut dan elemen pengimejan terletak pada kedua-dua belah permukaan atas pentas. Permukaan atas pentas digunakan untuk menyokong dan membetulkan wafer

Peranti dan kaedah yang disediakan oleh paten ini akan meningkatkan kecekapan penjajaran dan ketepatan penjajaran pemprosesan wafer dengan ketara, yang akan memberi kesan ketara ke atas pembuatan semikonduktor dan bidang lain.

Atas ialah kandungan terperinci Huawei memperoleh paten baharu, mendorong teknologi pemprosesan wafer ke tahap yang lebih tinggi. Untuk maklumat lanjut, sila ikut artikel berkaitan lain di laman web China PHP!