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ASML CEO 承諾在年底前交付首台 High-NA EUV 光刻機:體積和卡車相當,每台售價 3 億美元

Sep 18, 2023 pm 12:49 PM
光刻機 asml

本站9 月6 日消息,ASML 執行長Peter Wennink 最近在接受路透社採訪時表示,儘管供應商出現了一些阻礙,但公司仍會按照先前設定的計劃,在今年年底前交付High NA EUV 機器。

ASML CEO 承诺年底前交付首台 High-NA EUV 光刻机:体积和卡车相当,每台售价 3 亿美元

ASML 表示一台高數值孔徑EUV 微影(High-NA EUV)設備的體積和卡車相當,每台設備的售價超過3 億美元(本站備註:目前約21.9 億元),可以滿足一線晶片製造商的需求,可以在未來十年內製造更小、更好的晶片。

Wennink 表示部分供應商無法提高組件的數量和質量,因此導致了輕微的延誤,但整體而言這些困難都可以控制,承諾會在今年年底之前交付首台機器。

本站先前報導,對於後3nm 時代,ASML 及其合作夥伴正在開發一種全新的EUV 光刻機-Twinscan EXE:5000 系列,該系列機器將具有0.55 NA(高NA)的透鏡,解析度達8nm,從而在3 nm 及以上節點中盡可能避免雙重或是多重曝光。

相關閱讀:

《ASML 分享High-NA EUV 光刻機最新進展:目標2024-2025 年進廠》

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